CL-YD-312 壓電式力傳感器

1、電容效應(yīng)等效原理

1）壓電式傳感器結(jié)構(gòu)

..在壓電晶片的兩個工作面上進行金屬蒸鍍，形成金屬膜，構(gòu)成兩個電極， 如圖所示。

2）等效電容量

當(dāng)壓電傳感器受到沿其敏感軸向的外力作用時，就在兩電極上產(chǎn)生極性相反的電荷，因此它相當(dāng)于一個電荷源（靜電發(fā)生器）。由于壓電晶體是絕緣體，當(dāng)它的兩極表面聚集電荷時，它又相當(dāng)于一個電容器，其電容量為沿 x 軸方向加力產(chǎn)生縱向壓電效應(yīng),沿 y 軸加力產(chǎn)生橫向壓電效應(yīng),沿相對兩平面加力產(chǎn)生切向壓 電效應(yīng)。

3）等效電壓

當(dāng)壓電晶體受外力作用時，兩表面產(chǎn)生等量的正、負(fù)電荷 Q ，可求出其開路電壓（負(fù)載電阻為無窮大時）

..1）、壓電式傳感器既可等效為電荷源又可等效為電容器，其等效電路可認(rèn)為是二者的并聯(lián)，如下圖（a）所示；也可認(rèn)為是一個電壓源和一個電容器串聯(lián)，如下圖（b）所示。其中 Ra為壓電元件的漏電阻.

2）、壓電式傳感器測試系統(tǒng)等效電路

..壓電式傳感器工作時，需與二次儀表配套使用

，此時的等效電路如下圖所示。圖中Cc為傳感器電纜電容，Ri為放大器輸入電阻，Ci為輸入電容。

CL-YD-312 壓電式力傳感器

1、電容效應(yīng)等效原理

1）壓電式傳感器結(jié)構(gòu)

..在壓電晶片的兩個工作面上進行金屬蒸鍍，形成金屬膜，構(gòu)成兩個電極， 如圖所示。

2）等效電容量

當(dāng)壓電傳感器受到沿其敏感軸向的外力作用時，就在兩電極上產(chǎn)生極性相反的電荷，因此它相當(dāng)于一個電荷源（靜電發(fā)生器）。由于壓電晶體是絕緣體，當(dāng)它的兩極表面聚集電荷時，它又相當(dāng)于一個電容器，其電容量為沿 x 軸方向加力產(chǎn)生縱向壓電效應(yīng),沿 y 軸加力產(chǎn)生橫向壓電效應(yīng),沿相對兩平面加力產(chǎn)生切向壓 電效應(yīng)。

3）等效電壓

當(dāng)壓電晶體受外力作用時，兩表面產(chǎn)生等量的正、負(fù)電荷 Q ，可求出其開路電壓（負(fù)載電阻為無窮大時）

..1）、壓電式傳感器既可等效為電荷源又可等效為電容器，其等效電路可認(rèn)為是二者的并聯(lián)，如下圖（a）所示；也可認(rèn)為是一個電壓源和一個電容器串聯(lián)，如下圖（b）所示。其中 Ra為壓電元件的漏電阻.

2）、壓電式傳感器測試系統(tǒng)等效電路

..壓電式傳感器工作時，需與二次儀表配套使用

，此時的等效電路如下圖所示。圖中Cc為傳感器電纜電容，Ri為放大器輸入電阻，Ci為輸入電容。